S. Selberherr

Im Tagungsband zur Informationstagung "Mikroelektronik 87" werden die in Form von Kurzvorträgen und Posters dargebotenen Beiträge in übersichtlicher Form präsentiert und geben einen guten Überblick über den aktuellen Forschungs- und Wissensstand zu den Themenkreisen "Technologie und Zuverlässigkeit von Bauteilen und Systemen", "Sensoren in Industrie und Umweltschutz", "Elektronik im Verkehr", "Nachrichtentechnik und Datenkommunikation", "Medizintechnik und Biologie" und "Weltraum und Satellitentechnik". Die Autoren kommen aus Industrie und Forschung, so daß sowohl theorie- als auch praxisbezogene Erkenntnisse und Produkte vorgestellt werden. Die Tagung "Mikroelektronik" findet seit dem Jahr 1975 im Abstand von zwei Jahren statt und hat seitdem eine kontinuierliche Ausweitung im Vortragsangebot und im Publikumsinteresse erfahren. Der Tagungsband soll dazu beitragen, einer noch größeren Zahl von Interessenten eine Überschau über Stand und Zukunft der Mikroelektronik sowie Berichte über konkrete Applikationen, Methoden und Entwicklungen zu geben.

The invention of semiconductor devices is a fairly recent one, considering classical time scales in human life. The bipolar transistor was announced in 1947, and the MOS transistor, in a practically usable manner, was demonstrated in 1960. From these beginnings the semiconductor device field has grown rapidly. The first integrated circuits, which contained just a few devices, became commercially available in the early 1960s. Immediately thereafter an evolution has taken place so that today, less than 25 years later, the manufacture of integrated circuits with over 400.000 devices per single chip is possible. Coincident with the growth in semiconductor device development, the literature concerning semiconductor device and technology issues has literally exploded. In the last decade about 50.000 papers have been published on these subjects. The advent of so called Very-Large-Scale-Integration (VLSI) has certainly revealed the need for a better understanding of basic device behavior. The miniaturization of the single transistor, which is the major prerequisite for VLSI, nearly led to a breakdown of the classical models of semiconductor devices.